研究了射频磁控溅射制备自极化高热释电钽酸锂薄膜的特性。为了减少热释电行为的短期变化，对底部电极进行了初步的研究。然后，研究了压力和沉积温度对热释电性能的影响，确定了获得较大热释电性能的最佳参数。研究了晶体结构的改变及其对热释电系数的影响。在最佳的压力（2mtorr）和温度（630℃）条件下，获得了高达32μC.m-2.K-1的热释电系数。LiNbO3和LiTaO3的热电响应

变化

詹姆斯·布朗里奇和索尔·拉博伊

物理、应用物理和天文学系

宾厄姆顿大学，邮政信箱6016，宾厄姆顿，纽约13902-6016

摘要

在-z和+z基积累的极化电荷的测量

研究了铌酸锂和钽酸锂热释电晶体在温度变化过程中的热释电行为

描述。电荷模式下的静电计，其探针固定在底座上

研究结果如下。静电计的基准是通过接地来建立的

静电计探头处于特定的晶体温度，即静电计归零。什么时候？

地面被一个感应电荷打破，在地面被极化电荷俘虏

晶体的底部，留在探测电路中。当晶体的温度

静电计读取极化电荷相对于电流的变化

归零温度下的极化电荷。

获得了每种晶体以及三种晶体的-z和+z基的数据

不同的接地条件。每个实验包括五个月的数据积累

热循环。静电计在给定温度下的读数似乎不同

对于三种接地条件，但给定的

温差与接地情况无关。

测量了极化电荷随温度的变化

水晶被保持了大约14个小时。极化电荷仍然存在

只要温度保持不变，在-z和+z基上保持不变。这些

结果表明，对于给定的温差，电荷差的独立性随温度的变化而变化

关于归零条件和电荷读数的恒定性

晶体温度的恒定性，导致极化电荷

是晶体温度的可再现函数，是晶体的物理性质

水晶。

导言

研究热释电性质的一系列实验的描述

本报告给出了铌酸锂和钽酸锂晶体的固有特性。

在充电模式下的静电计被连接到电池的-z基极或+z基极

在研究晶体时记录读数

温度的周期性变化。静电计的零点由

在选定的温度下使探头电路接地。地面被打破后

改变晶体的温度并记录电荷读数。这个

对-z和+z基的三种不同归零条件进行了重复实验