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主要功能或者目标： （1）具备电子光学系统，电子枪采用预对中钨灯丝电子枪，最高分辨率不小于3nm，放大倍率最高不小于300000倍。（2）仪器同时具备电子束电对中及机械对中两种调节模式。（3）具备全自动真空系统，具备真空互锁功能，真空度优于5×10-4 Pa，配置机械泵、涡轮分子泵两级真空控制系统，具有真空互锁功能，停机时电子枪室自动密封。（4）具备双物镜光阑杆式光阑，光阑孔数量不小于3个，可真空外调节和更换，更换时无需拆卸镜筒。（5）配置红外CCD监控导航系统，可实时观测样品位置状态。（6）配置光学导航功能，最大光学放大倍数≥100倍。（7）样品室可拓展接口数量≥8个，可以外接各品牌WDS、EDS、BSE、EBSD等多种探测器或原位测试附件。（8）具备五轴样品台，平移行程X≥80mm,Y≥50mm,Z≥30mm，T≥-5°～+75°，R=360°。（9）最大样品直径≥Ф175mm，样品高度≥40mm。（10）操作系统扫描速度不小于81档可调。（11）配置联想、戴尔、惠普等主流品牌工作站1套，其配置不低于I7-12700，16G 1T SSD+1TB DVDT400，8G显卡24LED，DP接口，Windows10中文专业版，光电鼠标，键盘、27寸戴尔显示器。（12）配置钨灯丝扫描电镜主机（含高真空二次电子探测器，光学导航，红外CCD监控，五轴自动样品台）1套；（13）配置扫描电镜专用工具箱1套、压缩机1台、图像分析软件1件、备用预对中灯丝10根、附件耗材1套、扫描电镜专用工具箱1套。（14）提供得力M2000DNW打印机1台。（15）供应商免费送货上门、免费安装调试、免费提供技术培训，供货时限：6个月内，提供不小于一年的免费设备质保服务。 |
